Microvu/Micro-vu影像仪、三坐标、二次元、2.5次元、三次元介绍： 
Microvu/Micro-vu影像仪Excel 500系列 
型号 501 UM / 501 UC 502 UM / 502 UC 
量测行程 400 x 500 x 160 mm 400 x 500 x 250 mm 
外形尺寸 1100 x 1200 x 1550mm 1100 x 1200 x 1650mm 
重量 860kg 900kg 
XY 移动速度 700 mm/s 
XY 加速度 1400mm/S2 
Z 移动速度 100 mm/s 
Z 加速度 450mm/S2 
光学尺分辨率 0.1μm 
XY *度 2.5 + L/200 2.8 + L/200 
Z*度 2.5 + L/100 3.0 + L/100 
镜头倍率(光学,数字) 36x(12x, 3x) 
放大倍率 15x-540 to 30-1080 
表面光, 轮廓光,同轴光光源 红光LED (黑白系统) 白光 LED(彩色系统) 
承载重量 100kg 
电源系统 93-264 VAC,47-63 Hz 
工作温度 20℃±2° 
存放温度 -25℃ ~ 60℃ 
工作湿度 30%-80%

Microvu/Micro-vu影像仪Excel 650系列： 
型号 Excel651UM Excel651UC Excel652UM Excel652UC Excel654UM Excel654UC 
测量行程 650650160mm 650650250mm 650650400mm 
外形尺寸 1311x1604x1608mm 1311x1604x1788mm 1311x1604x2088mm 
重量 1530kg 1550kg 1550kg 
承载重量 100kg 100kg 100kg 
平台材质 钢构 
基座材质 花岗岩 
传动方式 Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z 
电控系统 伺服系统: CNC, 鼠标, 摇杆 
电源系统 93-264 VAC, 47-63 Hz,*大10 Amp 
XY *度 Uxy=2.5+L/300μm Uxy=2.8+L/300μm Uxy=3.2+L/300μm 
Z *度 Ux=2.5+L/150μm Ux=3.0+L/150μm Ux=3.5+L/150μm 
XY 重现性 2.5μm 2.8μm 3.2μm 
Z 重现性 2.5μm 3.0μm 3.5μm 
XY 加速度 1000mm/S2 
Z 加速度 500mm/S2 
XY 移动速度 500mm/s 
Z 移动速度 150mm/s 
光学尺分辨率 0.1μm 
影像 黑白 彩色 黑白 彩色 黑白 彩色 
光源 红光LED 白光LED 红光LED 白光LED 红光LED 白光LED 
照明系统 表面光, 轮廓光,同轴光 
光学系统/放大倍率 12x 光学/2.5x 数字 Zoom / 15x~1200 放大倍率 
软件 InSpec for Windows Metrology Software(2000/XP/Vista) 
工作环境 20℃(68℉)±2°,30-80%湿度

Microvu/Micro-vu影像仪Excel 1050系列： 
型号 Excel 1051 UM/UC Excel 1052 UM/UC Excel 1054 UM/UC 
量测行程 1050 x 1050 x 160mm 1050 x 1050 x 250mm 1050 x 1050 x 400mm 
外形尺寸 1720 x 2000 x 1650mm 1720 x 2000 x 1850mm 1720 x 2000 x 2000mm 
重量 2700kg 2750kg 2850kg 
光学尺分辨率 0.1μm 
XY *度,E2 3.3 + L/300 3.6 + L/300 4.3 + L/200 
Z *度,E1 2.8 + L/100 3.3 + L/100 3.8 + L/100 
镜头倍率光学,数字) 36x (12x,3x) 
表面光, 轮廓光,同轴光光源 红光LED (黑白系统) 白光 LED(彩色系统) 
放大倍率 15x - 540 to 30 - 1080 
电源系统 93-264 VAC,47-63 Hz 
工作温度 20℃±2° 
存放温度 -25℃ ~ 60℃ 
工作湿度 30%-80%

改款后*新手动机型：Microvu/Micro-vu影像仪Sol系列 
形号 Sol 161 SOL 311 
量测行程 160160160mm 315x315x160mm 
外形尺寸 545x705x775mm 1054x1054x775mm 
重量 55kg 106kg 
承载重量 9kg 9kg 
平台材质 铝合金 铝合金 
基座材质 铝合金 铝合金 
传动方式 X&Y Steel Cross Roller Bearings Steel Cross Roller Bearings 
XY *度 U=(2.8+L/150)μm U=(2.8+L/150)μm 
Z *度 U=(2.8+L/100)μm U=(2.8+L/150)μm 
XY 重现性 U=2.8μm U=2.8μm 
Z 重现性 U=2.8μm U=2.8μm 
光学尺分辨率 1.0μm 1.0μm 
影像 *分辨率彩色系统 *分辨率彩色系统 
光源 轮廓光,表面光,同轴光 轮廓光,表面光,同轴光 
光学系统/放大倍率 6.5:1 光学 Zoom, 0.7-4.5x 6.5:1 光学 Zoom, 0.7-4.5x 
量测系统 InSpec for Windows Metrology Software InSpec for Windows Metrology Software 
工作环境 20℃±2°,30-80% 湿度 20℃±2°,30-80% 湿度 
电源系统 93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp 93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp

自动型CNC： 
Microvu/Micro-vu影像仪Vertex系列 
型号 Vertex251HC/Vertex251UC Vertex 311HC/Vertex 311UC 
XY *度 Uxy=（2.0+L/250）μm Uxy=(2.5+L/250)μm 
Z *度 Ux=（2.5+L/150）μm Ux=（3.0+L/150）μm 
XY 重现性 2.0μm 2.5μm 
Z 重现性 2.0μm 2.0μm 
XY 加速度 500mm/S2 
Z 加速度 200mm/S2 
XY 移动速度 250mm/s 
Z 移动速度 100mm/s 
光学尺分辨率 1.0μm, 0.5μm, 0.1μm 
量测行程 250160160mm 315x315x150mm 
外形尺寸 808x606x1033mm 1090865x990mm 
重量 98kg 125kg 
承载重量 10kg 12kg 
基座材质 铝合金(花岗岩选购l) 
传动方式 Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z 
电控系统 伺服系统: CNC, 鼠标, 摇杆 
光学系统 &放大倍率 12:1 光学 Zoom, 17-410 或 6.5:1光学 Zoom, 20-250 
影像 & 光源 红光LED (黑白系统)或白光 LED(彩色系统) 
软件 InSpec for Windows Metrology Software 
工作环境 20℃±2°,30-80% 湿度

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